Einführung In der Waferverarbeitung zählt die Betriebsbereitschaft über alles. Wenn die Anlage ausfällt, steht alles still – Punkt. Deshalb...

Auf dem Fertigungsbereich Auf dem Fertigungsbereich ist ein 300mm-Wafer mit Tausenden von Dies gefüllt, und das thermische Budget ist heilig. Eine...