دیگر نیازی نیست دیوارههای دستگاه را گرم کنید؛ بهتر است از لامپهای گرمایشی مخصوص برای گرم کردن ویفرها استفاده کنید.
اکثر عناصر گرمایشی، باعث پخش گرما در سراسر فضای دستگاه میشوند؛ این امر در محیطهای نیمههادی، مشکلات زیادی ایجاد میکند. در نتیجه، دیوارههای دستگاه گرم میشوند و لایههای داخلی تجهیزات گرانقیمت نیز آسیب میبینند. این امر نه تنها تجهیزات شما را در معرض خطر قرار میدهد، بلکه برای کسانی که باید روی دستگاه کار کنند، نیز خطرات جدی ایجاد میکند.
ما راه بهتری پیدا کردیم: استفاده از لامپهای گرمایشی مادون قرمز.
نحوه کارکرد آنها
لامپهای گرمایشی مادون قرمز، تشعشعات الکترومغناطیسی را در یک خط مستقیم ارسال میکنند. ما این لامپها را طوری تنظیم میکنیم که گرما مستقیماً روی سطح ویفر اعمال شود. با تنظیم طول موج و استفاده از بازتابندههای مناسب، میتوانیم انرژی را در جای مناسب نگه داریم؛ در نتیجه، گرما وارد دیوارههای دستگاه نمیشود.
نتیجه
در نتیجه، بدنه تجهیزات شما سرد باقی میماند و ویفر نیز سریعتر به دمای مورد نظر میرسد.
جزئیات فنی
ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند حرارت زیاد را تحمل کنند. از غلافهای کوارتزی و فیلامنتهای هالوژنی استفاده میکنیم؛ زیرا این مواد میتوانند به سرعت روشن و خاموش شوند و کنترل دقیقی بر دما ایجاد کنند. میتوانید این لامپها را به سیستمهای کنترل دمای موجود خود متصل کنید تا دقت کنترل دما بالا برود.
مزایا
جلوگیری از گرم شدن دیوارههای دستگاه، نه تنها به معنای محافظت از تجهیزات است، بلکه به معنای محافظت از افرادی نیز هست که کنار دستگاه کار میکنند. وقتی بدنه دستگاه سرد باقی میماند، نیازی به نگرانی درباره سوختگی افراد در حین تعمیرات نیست. همچنین، از هدر رفت انرژی برای گرم کردن هوا و بدنه دستگاه جلوگیری میشود.
شما انرژی را دقیقاً در جای مناسب آن، یعنی روی ویفر، استفاده میکنید.