در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دمای ۱ درجه سانتیگراد در حین فرآیند پخت نرم رزیست، میتواند باعث تغییر ابعاد کلیدی قطعات شود و در نتیجه منجر به از بین رفتن آنها شود. بنابراین، نیاز به کنترل دمایی دقیق وجود دارد که در هر شیفت، دما در محدوده مشخصی باقی بماند.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ هیترهای مورد استفاده در کارخانههای تولید، باعث حفظ یکنواختی دمایی در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد میشوند؛ همچنین، قابلیت تکرار دما نیز در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد است. باید انتخاب هیتر مناسب بر اساس شرایط حرارتی مورد نظر انجام شود؛ چه هیترهای هالوژنی، چه موجهای متوسط، یا هیترهای فیبر کربنی/NIR. همچنین، باید اندازه هیترها با فضای مورد نیاز برای قرارگیری روی سطوح گرمکننده، ویفرها و دستگاههای بستهبندی سازگار باشد.
استفاده از مواد کوارتز و سرامیک با خلوص بالا، باعث کاهش گازهای تولید شده و جلوگیری از تشکیل ذرات میشود؛ این امر به حفظ محیط پاک در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰ کمک میکند. کنترل دما از طریق سیستم PID انجام میشود؛ همچنین، گزینههای RS-485/Ethernet نیز وجود دارد. هیترها برای کار ۲۴ ساعته طراحی شدهاند؛ همچنین، میانگین زمان عملکرد بدون خرابی نیز بسیار بالاست.
چرا این روش در عمل موثر است؟ در فرآیند پردازش رزیست، یکنواختی دمایی باعث ایجاد الگوهای یکنواخت در فرآیند پخت نرم و سخت میشود؛ بنابراین کنترل ابعاد قطعات نیز پایدار خواهد بود. در فرآیند بستهبندی نیز، الگوهای پخت پایدار، باعث کاهش حفرهها و انحنای قطعات میشود؛ این امر باعث کاهش زمان لازم برای تست قطعات و جلوگیری از کارهای تعمیراتی میشود.
پاسخ سریع هیترها به تغییرات دما و کاهش مصرف انرژی، از مزایای این روش است. ساختار پاک هیترها نیز باعث کاهش تعداد ذرات تولید شده میشود؛ بنابراین نیازی به تعمیرات پیشگیرانه نیست.
چند نکته مهم در محیط کارخانه: نصب هیترها بستگی به تطابق جرم سطح گرمکننده و رابط حرارتی دارد. انتظار داشته باشید که زمان تنظیم پارامترهای PID برای کامرا و ساختار کلی کارخانه، کوتاه باشد. هیترها با استانداردهای SECS/GEM سازگار هستند؛ اما تطابق کامل پروتکلها بستگی به نسخه کنترلر مربوطه دارد.
باید عملیاتها در محدوده دمایی مشخص انجام شود؛ همچنین، مسیرهای خنککنندگی و تخلیه گازها نیز باید خالی باشند. در غیر این صورت، تغییرات دمایی باعث فشار بیشتر بر هیترها و کاهش عمر آنها میشود.