נורת פליטה בתחום קרוב אינפרא אדום (NIR)

בקו הייצור, סטייה של 0.2°C באפיית הפוטורזיסט אינה סטייה קטנה. זו מהווה סבב שבור. אחידות תרמית ברמת הוופר קובעת את בקרת רוחב הקו, והתקציב התרמי חייב...