מנורת אינפרא אדום לאפיית פולימידים

בתהליך הליתוגרפיה, חומר הפוטורזיסט מסוג פוליאימיד אינו יכול לעמוד ברמת השליטה בטמפרטורה שניתן להשיג באמצעות נורות רגילות. חימום עמום, אפילו בהבדל של...