בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה במהלך תהליך החימום אינו ערך שניתן לרשום בטבלה. שינוי כזה גורם לשינויים בעובי הסרט הפוטורזיסט, לאחיזה...

בתהליך הליתוגרפיה, אל תראו בשלב החימום הרך כשלב הכנה בלבד. זהו שלב תרמי שמבטיח את רמת החומר הממס בחומר הפוטורזיסט, וכן את יציבות ההדבקה שלו לשבב. אם...