अपनी मशीन को गर्म करना बंद करें, और इसके विभिन्न हिस्सों को ही गर्म करें। अधिकांश इन्फ्रारेड लैंप, ऊष्मा को हर दिशा में फैला देते हैं। ऐसे में, जब आप...

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को सुखाने के दौरान 2°C का अंतर केवल एक छोटा सा अंतर ही नहीं है; बल्कि यह चिप में दोष उत्पन्न होने का कारण भी बन...

फैब फ्लोर पर, फोटोरेसिस्ट बेक में 0.2°C का ड्रिफ्ट मामूली विचलन नहीं है। यह एक स्क्रैप्ड लॉट है। वेफर-लेवल थर्मल यूनिफॉर्मिटी लाइनविथ कंट्रोल...