Smettete di riscaldare le pareti dell’impianto (e iniziate invece a riscaldare i wafer stessi).
La maggior parte degli elementi riscaldanti è piuttosto disordinata: emettono calore ovunque, il che rappresenta un vero problema nelle camere di lavorazione dei semiconduttori. Di conseguenza, le pareti interne degli impianti diventano troppo calde, e questo può danneggiare i componenti costosi utilizzati nell’impianto stesso. Inoltre, si tratta di un vero pericolo per chi deve lavorare sull’impianto.
Abbiamo trovato un modo migliore: lampade a irraggiamento infrarosso direzionale.
Come funzionano realmente
Si possono considerare queste lampade come dei termosifoni: riscaldano semplicemente l’aria circostante. Le lampade a irraggiamento infrarosso, invece, emettono radiazioni elettromagnetiche in linea retta. Possiamo regolare la lunghezza d’onda delle radiazioni e utilizzare riflettori appropriati per far sì che l’energia venga concentrata esclusivamente sulla superficie del wafer. In questo modo, il calore non si diffonde nelle pareti dell’impianto.
I vantaggi
Grazie a queste lampade, il guscio dell’impianto rimane fresco, mentre il wafer raggiunge più velocemente la temperatura desiderata.
I dettagli tecnici
Costruiamo queste lampade per gestire carichi termici elevati. Utilizziamo involucri in quarzo e filamenti allogenici, poiché permettono di accendere e spegnere rapidamente le lampade, garantendo così un controllo preciso della temperatura. È possibile collegarle direttamente ai circuiti PID esistenti, mantenendo così tolleranze molto strette.
Attenzione… c’è però un problema
Poiché queste lampade concentrano molta energia in uno spazio piccolissimo, richiedono cure particolari. Se i riflettori si sporcano o si spostano anche solo di pochi millimetri, si creano zone troppo calde sul wafer. È quindi necessario mantenere questi riflettori perfettamente puliti, altrimenti si potrebbero rovinare i wafer.
Migliori per i dispositivi, migliori per le persone
Evitare che le pareti dell’impianto diventino troppo calde non serve soltanto a proteggere i dispositivi stessi, ma anche le persone che lavorano vicino all’impianto. Quando il guscio esterno rimane fresco, non c’è rischio di ustioni durante le operazioni di manutenzione. Inoltre, si evita di sprecare energia per riscaldare l’aria e la struttura dell’impianto stesso. L’energia viene infatti utilizzata esattamente dove serve: sul wafer.