와이퍼 수분 제거 램프

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 생겨도 많은 양의 웨이퍼가 폐기물이 되어버립니다. 잔여 수분도 문제인데, 이로 인해 웨이퍼 표면에 결함이 생기거나 패턴이 망가질 수 있습니다. 이러한 결함들은 나중에야 발견되지만, 그로 인한 손실은...