포토레지스트 건조용 램프
리소그래피 공정에서, 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 발생하는 0.5도 정도의 오차는 단순히 스프레드시트상의 숫자에 불과합니다. 이러한 오차는 선의 굵기 변동, 약한 접착력, 그리고 에칭 후의 수율 저하로 나타납니다. 우리는 이러한 변동성을 줄이기 위해 특수한...
E빔 레지스트 베이킹 히터
Role 공장 현장에서 E-빔 레지스트 베이킹은 단순한 예열이 아니다. 이는 공정의 기준점이다.
히트 플레이트에서 2°C 편차가 발생하면, 치수 편차가 이동한다. 오버레이가 흔들리기 시작한다. 그러면 일정이 밀리는 동안 리소그래피 셀에서 수율을 다시 맞추기 위해 쫓아...