포토레지스트 소프트 베이크 램프

리소그래피 공정에서는 ‘소프트 베이크’를 단순한 예열 과정으로 여겨서는 안 됩니다. 이는 용매의 양을 고정시키고 포토레지스트가 웨이퍼에 제대로 부착되도록 하는 중요한 열처리 과정입니다. 웨이퍼 전체에 1°C 정도의 온도 차이가 생기거나, 램프의 발광 부분에 온도 차이...