왜 웨이퍼 가공에는 적외선 가열이 열공기 가열보다 더 효과적인가요? 만약 깊은 공정 처리에서 열공기 순환 방식 대신 적외선 가열 방식을 사용하고 싶다면, 그것을 단순히 “더 좋은 장비”로 생각해서는 안 됩니다. 오히려 시간을 절약할 수 있는 방법으로 생각해야 합니다....

300mm 공정에서는 열 관리가 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야 할 원칙입니다. 소프트 베이크 과정에서 온도가 0.5도만이라도 벗어나면, 그 영향은 포토레지스트의 프로파일에 나타납니다. 하드 베이크 과정에서 설정된 온도에 도달하지 못하면, 현상 과정 후에...