저렴한 웨이퍼 건조용 램프 전구

리소그래피 공정에서 포토레지스트를 가열하는 동안 2°C의 온도 변동은 단순한 변동이 아니라, 칩에 결함이 생기는 직접적인 원인입니다. 웨이퍼 건조 및 가열 공정에서는 유지보수 관련 규정이 아닌, 공정 자체의 열적 특성을 반드시 준수해야 합니다. 저희는 이러한 요구사항...