에너지 효율적인 웨이퍼 히터

벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 대부분의 가열 요소들은 열을 곳곳에 흩뿌리기 때문에 반도체 제조 공정에서는 큰 문제가 됩니다. 그 결과, 장비의 내부 부품들이 손상될 수 있습니다. 이는 장비 자체에 해를 끼칠 뿐만 아니라, 기계를 조작하는...