벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해 보세요.
대부분의 가열 요소들은 열을 곳곳에 흩뿌리기 때문에 반도체 제조 공정에서는 큰 문제가 됩니다. 그 결과, 장비의 내부 부품들이 손상될 수 있습니다. 이는 장비 자체에 해를 끼칠 뿐만 아니라, 기계를 조작하는 사람들에게도 심각한 안전 위험이 됩니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 바로 방향성 적외선 가열 램프입니다.
작동 원리
저항식 가열기는 마치 공기 난방기와 같아서 단순히 공기를 따뜻하게 만듭니다. 하지만 적외선 램프는 다릅니다. 이 램프는 전자기파를 직선으로 방출합니다. 우리는 파장을 조절하여 에너지가 웨이퍼 표면에 정확히 도달하도록 합니다. 그렇게 하면 열이 공간의 벽으로 퍼지는 것을 막을 수 있습니다.
결과
이렇게 하면 장비의 외부가 시원하게 유지되고, 웨이퍼는 훨씬 빠르게 목표 온도에 도달합니다.
구체적인 사항
우리는 고강도의 열을 견딜 수 있는 램프를 만듭니다. 석영 커버와 할로겐 필라멘트를 사용함으로써, 즉시 켜지고 꺼질 수 있어서 정밀한 온도 조절이 가능합니다. 이 램프들을 기존의 PID 제어 시스템에 연결하면 정확한 온도 조절이 가능합니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다.
이 램프들은 매우 작은 공간에 엄청난 에너지를 담고 있기 때문에, 반사경이 더러워지거나 위치가 조금만 어긋나도 웨이퍼에 과열된 부분이 생길 수 있습니다. 따라서 반사경을 항상 깨끗하게 유지해야 합니다. 그렇지 않으면 웨이퍼가 손상될 수 있습니다.
장비와 인간 모두에게 좋은 방법
벽이 과열되는 것을 막는 것은 단순히 하드웨어를 보호하는 것뿐만 아니라, 기계 옆에서 작업하는 사람들을 보호하는 것도 의미합니다. 외부가 시원하게 유지되면, 유지보수할 때 화상을 입을 걱정도 없습니다. 게다가 공기나 기계 프레임을 가열하는 데 드는 전력도 절약됩니다. 에너지는 정확히 필요한 곳, 즉 웨이퍼에만 사용됩니다.