건조 장비가 오븐처럼 변하는 것을 막으세요 제조 현장에서 일해본 사람이라면 이 문제를 잘 알 것입니다. 건조 과정을 진행하다 보면 갑자기 장비의 내부 벽면이 뜨거워집니다. 정말 엉망인 상황이죠. 문제는 간단합니다. 일반적인 가열 요소들은 에너지를 사방으로 방출하기 때...

팹 내의 탄소 배출 감소: 왜 단파 적외선이 더 효과적인 가열 방법인가? 솔직히 말해서, 반도체 공장에서 탄소 중립을 달성하는 것은 매우 어려운 일입니다. 문제의 핵심은 바로 열을 어떻게 처리하느냐 하는 점입니다. 오랫동안 우리는 저항식 가열 방식을 사용해왔지만, 이...

벽을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 대부분의 가열 요소들은 열을 곳곳에 흩뿌리기 때문에 반도체 제조 공정에서는 큰 문제가 됩니다. 그 결과, 장비의 내부 부품들이 손상될 수 있습니다. 이는 장비 자체에 해를 끼칠 뿐만 아니라, 기계를 조작하는...