오존이 없는 적외선 램프

웨이퍼 오염을 사전에 막는 방법 대량 생산이 이루어지는 반도체 공장에서는 램프가 파손되는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그건 진짜 악몽과도 같습니다. 일반적인 석영관이 파손되면, 그냥 작동을 멈추는 것에 그치지 않습니다. 실리콘 웨이퍼 표면에 미세한 입자와 화학물질들...