RTP 시스템 히터의 문제 해결

바닥면에서 RTP 히터의 온도가 일정하지 않아지면, 웨이퍼 전체의 온도도 계속 변동합니다. 약간의 온도 변동만으로도 포토레지스트의 성능에 영향을 미칩니다. 너무 높거나 낮은 온도에서의 가열은 CD의 정밀도를 떨어뜨립니다. 그 결과, 폐기물이 발생하고 재작업이 필요해지...