폴리이미드 베이크용 적외선 램프

리소그래피 공정에서는 폴리이미드 포토레지스트가 일반적인 램프를 사용할 때와 같은 수준의 열 제어를 견딜 수 없습니다. 반도그레이드만큼의 온도 변화라도 발생하면 포토레지스트의 두께가 달라지고, 너무 큰 온도 변화가 생기면 에칭 후에 이물질이 남게 됩니다. 따라서 신뢰할...