서론 웨이퍼 가공 과정에서 가장 중요한 것은 바로 가동 시간입니다. 설비가 멈추면 모든 작업이 중단됩니다. 그뿐입니다. 이것이 바로 우리가 할로겐 난방 램프를 만드는 이유입니다. 즉, 설비가 계속 작동하도록 하는 것이죠. 우리가 제공하는 예비 부품들은 직접 교체 가능...

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 생겨도 많은 양의 웨이퍼가 폐기물이 되어버립니다. 잔여 수분도 문제인데, 이로 인해 웨이퍼 표면에 결함이 생기거나 패턴이 망가질 수 있습니다. 이러한 결함들은 나중에야 발견되지만, 그로 인한 손실은...