고속 열 처리 (RTP) 램프

공정 내의 실제 중요성 300mm 웨이퍼에는 수천 개의 다이가 포장되어 있으며, 열 예산은 매우 중요합니다. 포토레지스트 소프트 베이크 또는 스파이크 어닐 동안 2°C의 드리프트는 결함을 패턴에 주입하고 CD 균일성을 규격에서 벗어나게 하며, 많은 양질의 다이를 손실...