근적외선(NIR) 발광 전구

반도체 제조 현장에서 포토레지스트 베이크 온도 편차가 0.2°C인 것은 작은 오차가 아니다. 이는 전량 폐기 사유가 된다. 웨이퍼 수준의 열 균일성은 라인폭 제어를 결정하며, 열 예산은 매 공정마다 정확해야 한다. 기술적으로 중요한 점 우리의 근적외선(NIR) 발광...