E빔 레지스트 베이킹 히터

Role 공장 현장에서 E-빔 레지스트 베이킹은 단순한 예열이 아니다. 이는 공정의 기준점이다. 히트 플레이트에서 2°C 편차가 발생하면, 치수 편차가 이동한다. 오버레이가 흔들리기 시작한다. 그러면 일정이 밀리는 동안 리소그래피 셀에서 수율을 다시 맞추기 위해 쫓아...