Menghentikan pencemaran wafer sebelum ia bermula
Dalam proses pengeluaran semikonduktor yang berskala besar, kerosakan pada tiub lampu bukan sekadar masalah kecil. Ia merupakan situasi yang sangat buruk. Apabila tiub kuarsa biasa rosak, ia bukan sahaja berhenti berfungsi, tetapi juga menyebabkan zarah-zarah dan bahan kimia tercampur pada permukaan wafer silikon tersebut. Dengan itu, keseluruhan produk yang dihasilkan menjadi tidak boleh digunakan. Itulah sebabnya kami perlu memikirkan cara baru untuk membina lampu IR tanpa penggunaan ozon.
Masalah dengan ozon
Kebanyakan lampu IR berfrekuensi rendah mengeluarkan radiasi pada panjang gelombang sekitar 185nm. Masalahnya, radiasi ini akan bertindak balas dengan oksigen di udara, lalu menghasilkan ozon. Ozon merupakan bahan yang berbahaya; ia bersifat korosif dan boleh merosakkan komponen dalaman mesin. Ia juga boleh mengganggu proses kimia pada permukaan wafer. Kami menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan jenis kaca kuarsa tertentu yang mampu menapis sinar UV tersebut. Dengan cara ini, pembentukan ozon dapat dielakkan. Sangat mudah.
Menghadapi masalah haba
Proses pengeluaran yang memerlukan beban tinggi sangat mencabar. Perubahan suhu yang drastik menyebabkan kaca mudah retak. Untuk mengelakkan ini, kami menggunakan kaca kuarsa sintetik yang berkualiti tinggi. Kaca ini kurang cenderung untuk mengembang atau mengecut berbanding kaca biasa. Kami juga memperkuat sambungan antara filamen dan penutup lampu agar gas tidak bocor keluar. Jika sistem halogen gagal berfungsi, lampu tersebut hanya akan padam, bukan meletup.
Kompromi yang perlu diterima
Perlu diingat bahawa tiada apa yang percuma. Kerana penapis tersebut memblokir sinar tertentu, output spektrum lampu akan berubah sedikit. Anda mungkin perlu menyesuaikan masa operasi lampu atau menaikkan tahap kuasa agar hasilnya sama seperti lampu biasa.
Cara menggunakan lampu tersebut
Lampu-lampu ini direka untuk diganti secara mudah. Pastikan kuasa yang digunakan sesuai dengan spesifikasi lampu baru tersebut. Jangan cuba menaikkan voltan lampu secara berlebihan untuk mengimbangi kehilangan haba. Ini akan menyebabkan filamen lampu rosak atau lampu tersebut pecah.
Petua tambahan: Pastikan kipas penyejuk lampu sentiasa bersih. Titik panas pada permukaan kaca merupakan punca masalah.