Lampu inframerah untuk proses pembakaran poliimida
Di bilik proses litografi, bahan fotoresist berbahan poliimid tidak dapat bertahan terhadap kawalan suhu yang boleh dicapai menggunakan lampu biasa....
Lampu pengeringan photoresist yang lembut
Di bahagian litografi, jangan anggap proses “soft bake” sebagai langkah pemanasan semata-mata. Sebenarnya, ia merupakan langkah termal yang penting...