Op de lithografieafdeling betekent een temperatuurschommeling van 2°C tijdens het verhitten van de fotorezyst niet zomaar een variatie in de parameters – het leidt rechtstreeks tot defecten in de chip. De stappen van drogen en verhitten van de wafer moeten rekening houden met de thermische eisen van het proces, en niet met de eisen die voortvloeien uit de onderhoudsregels. We hebben onze lampen zo ontworpen dat ze voldoen aan deze eisen: ze zijn goedkoop, maar er worden geen concessies gedaan op het gebied van precisie.
Wat technisch gezien belangrijk is:
De lamp bevat een kortegolflengtehalogeen-element dat zich bevindt in een kwartsomhulling. Hierdoor wordt er een snel en stabiel infraroodsignaal gegenereerd, wat nodig is voor het drogen en verhiten van de wafer. Over de hele oppervlakte van de wafer blijft de temperatuur binnen ±0,1°C, zodat de cruciale afmetingen binnen de vereiste grenzen blijven. Er wordt nauwelijks stof geproduceerd, waardoor de concentratie stof in de schone ruimte op peil blijft. De lamp werkt op standaardspanningen, past in gewone stopcontacten en behoudt zijn prestaties zelfs na 5.000 uur gebruik – met minder dan 5% daling in prestaties.
Waarom dit werkt in de productie:
In de productie is het belangrijk dat alles consistent blijft. Deze lamp kan de temperatuur 24/7 op peil houden, zodat de processen steeds op dezelfde manier verlopen. Dit zorgt voor minder afval en herwerkwerk. Bovendien wordt de opwarmtijd verkort, waardoor de productiecapaciteit toeneemt en de energieverbruik wordt verminderd. De vervanging van de lamp gebeurt snel, zodat er geen onverwachte stilstand optreedt. Je betaalt minder per lamp en hebt minder tijd nodig om problemen te verhelpen.
Enkele punten om in gedachten te houden:
De lamp is ontworpen voor gebruik in een schone omgeving met gefilterde luchtstromen. Hij is niet geschikt voor gebruik in vochtige omgevingen of omgevingen waar corrosie optreedt. Zorg ervoor dat het type stopcontact en de reflector geometrie overeenkomen – anders kan de temperatuurverschillen optreden langs de randen van de wafer. Als alles goed is ingesteld, past de lamp gemakkelijk in bestaande apparaten en levert hij de benodigde thermische constantheid.