บทนำ ในกระบวนการผลิตวงจรระดับวาเฟอร์นั้น สิ่งที่สำคัญที่สุดก็คือเวลาในการทำงานของเครื่องจักร หากเครื่องจักรหยุดทำงาน ทุกอย่างก็จะหยุดลงทันที...

เครื่องทำความร้อนด้วยแสงอินฟราเรดที่มีกำลังสูง ซึ่งเหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับระบบสุญญากาศของ Leybold...