Litografi bölümünde, fotoresistin yumuşak fırınlaması sırasında meydana gelen 1°C’lik bir değişiklik bile kritik boyutları etkileyerek ürünlerin atılmasına neden olabilir. Bu yüzden her vardiya boyunca belirlenen sıcaklık aralığında kalacak bir termal kontrol sistemi gereklidir.
Teknik açıdan önemli olanlar Fabrikamızdaki ısıtıcılar, fırınlama yüzeyi üzerindeki sıcaklığı ±0,1°C civarında sabit tutar; ayar noktasının tekrarlanabilirliği ise ±0,5°C’dır. İhtiyaçlarınıza uygun olarak halojen kısa dalga, orta dalga veya karbon fiber/NIR türünde ısıtıcılar kullanılabilir. Bu ısıtıcılar 100 V ile 480 V arasında çalışır ve kaplama cihazlarına, wafer taşıyıcılarına ve paketleme ekipmanlarına uyum sağlar.
Kvarts ve yüksek saflıkta seramik malzemeler sayesinde gaz salınımı ve parçacık oluşumu sıfıra indirilir; bu da Cleanroom Class 1–100 standartlarının sağlanmasını mümkün kılar. Kontrol işlemi PID yöntemiyle yapılır ve RS-485/Ethernet seçenekleri de mevcuttur. Isıtıcılar 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır ve beklenmedik arızaların olmaması için MTBF değerleri yüksektir.
Pratikte neden işe yarıyor? Fotoresist işlemlerinde bu kadar yüksek sıcaklık düzgünlüğü, tutarlı bir fırınlama süreci sağlar; böylece CD boyutları sabit kalır ve verimlilik düşmez. Paketleme işlemlerinde ise stabil fırınlama koşulları hava boşluklarını ve bükülmeleri azaltır; bu da kalifikasyon sürelerini kısaltır ve yeniden işleme ihtiyacını ortadan kaldırır.
Hızlı ayarlanma süresi ve düşük bekleme enerjisi tüketimi sayesinde enerji kullanımı azalır. Sağlam yapı sayesinde parçacık sayısı sabit kalır; bu da koruyucu bakım ihtiyacını ortadan kaldırır.
Atölyedeki bazı gerçekler Montaj işleminde ısıtıcıların kütlesi ve termal arayüzün uyumlu olması çok önemlidir. Chamber ve taşıyıcı geometrisine göre PID ayarlarının yapılması için kısa bir kurulum süresi gereklidir. Isıtıcılar SECS/GEM protokolleriyle uyumludur; ancak tam protokol uyumu ana kontrol cihazının sürümüne bağlıdır.
İşlemlerin belirlenen sıcaklık aralıklarında yapılması ve soğutma/egzoz sistemlerinin temiz tutulması gerekmektedir. Aksi takdirde termal döngüler ısıtıcıları zorlar ve kullanım ömrünü kısaltır.