Aşağıda, “Termal” sınıflandırma terimini kullanan sayfaları bulacaksınız. Hızlı termal işleme (RTP) lambası Fab alanında, 300mm bir wafer binlerce die ile doludur ve termal bütçe kutsaldır. Fotoresist yumuşak pişirme veya ani tavlama sırasında 2°C’lik... Read more...
Hızlı termal işleme (RTP) lambası Fab alanında, 300mm bir wafer binlerce die ile doludur ve termal bütçe kutsaldır. Fotoresist yumuşak pişirme veya ani tavlama sırasında 2°C’lik... Read more...
