Zemin üzerinde, RTP ısıtıcısı çalışmaya başladığında, parça sürekli hareket halinde kalır. Hafif bir ısı uygulaması bile fotorezistin özelliklerini bozar. Aşırı sıcak veya soğuk ortamlarda yapılan ısı uygulamaları ise CD kontrolünü zorlaştırır. Bunun sonucunda atık malzeme oluşur, yeniden işleme gerektirir ve telafi edilemeyen enerji kaybı yaşanır.
Asıl önemli olan şey nedir? RTP ısıtıcısını, tüm işlem süreci boyunca waferin her noktasında ±0,1°C’lik bir düzenlilik sağlayacak şekilde tasarladık. Halojen kısa dalga lambaları, hızlı ve tekrarlanabilir ısı uygulamaları sağlar; böylece fotorezistin özellikleri korunur. Kuvars yapıları ve düşük gaz salınımı yapan malzemeler, Class 1–100 temiz odalarda parçacık sayısını sabit tutar. Karbon fiber yalıtımları ise enerji tüketimini azaltırken termal kütle oluşturmaz. Bu sistem, standart konektörler aracılığıyla mevcut odalara ve kontrol cihazlarına entegre edilir; böylece termal profiller belirlenen değerlere göre şekillenir.
Litografi ve aşındırma işlemlerinde bu sistemin işe yaramasının nedeni, sıcaklığın işlem sırasında ölçülebilen bir parametre olmasıdır. Bu ısıtıcı sayesinde hem hafif hem de yoğun ısı uygulamalarında sıcaklık stabil kalır, CD düzgünlüğü artar ve filmin stres seviyesi belirlenen normlar içinde kalır. Partiden partiye tekrarlanabilirlik sayesinde kalifikasyon süreçleri kısalır ve planlamalar daha doğru yapılır. Sistem 7/24 kesintisiz çalışır ve lambaların ömrü değiştirme aralıkları arasında 5.000 saatten fazladır. Bu da stoğda daha az yedek parça bulunmasını ve bakım sürelerinin azalmasını sağlar.
Montaj işlemi, oda geometrisine uyum sağlamak ve lamba diziliminin wafer düzlemiyle uyumlu olup olmadığını kontrol etmekten ibarettir. Küçük bir sapma bile kenarların merkeze göre yanlış yerleşmesine neden olabilir. Fotorezist için gerekli olan ısı uygulama hızlarını ve sürelerini yeniden ayarlamak için kısa bir kalifikasyon testi yapılmalıdır. ±0,1°C’lik bir düzenlilik sağlamak için soğutucularla daha sıkı bir koordinasyon gereklidir. Arayüz çizimleri ve termal haritalama verileri sayesinde montaj işlemi sorunsuz gerçekleşir.