Giriş Wafer işleme sürecinde asıl önemli olan şey, üretimin kesintisiz sürmesidir. Eğer üretim hattı durursa, her şey durur. Sonuç bu. İşte bu yüzden...

Fab alanında, 300mm bir wafer binlerce die ile doludur ve termal bütçe kutsaldır. Fotoresist yumuşak pişirme veya ani tavlama sırasında 2°C’lik...