Litografi sürecinde, poliimid tabanlı fotoresistler, normal lambalarla elde edilebilen türden bir ısı kontrolüne dayanamaz. Yarım derece kadar bile...

Litografi işlemlerinde, “yumuşak fırınlama” adımını sadece bir ısınma işlemi olarak görmeyin. Bu adım, çözücü içeriğini sabitleyen ve fotoresistin...