Litografi sürecinde, poliimid tabanlı fotoresistler, normal lambalarla elde edilebilen türden bir ısı kontrolüne dayanamaz. Yarım derece kadar bile olan ısı değişiklikleri, fotoresistin kalınlığını etkiler; aşırı ısı uygulamaları ise aşındırma işleminden sonra yüzeyde kalıntılara neden olur. İhtiyacınız olan şey, güvenilir bir ısı kaynağıdır; hızlı ısı artışı, mükemmel tekrarlanabilirlik ve temiz oda koşullarında çalışarak ürüne herhangi bir parçacık bırakmayan donanımlar gereklidir.
Poliimid için kullanılan kızılötesi lambalar, poliimidin emilim özelliklerine göre ayarlanmış kısa dalga boylu cihazlardır. Bu sayede düşük termal ataletle hızlı ve temas gerektirmeyen bir ısıtma sağlanır. Wafer seviyesindeki eşitlik ±0,1°C civarındadır ve farklı üretim seansları arasındaki tekrarlanabilirlik ise ±0,2°C içindedir. Bu lambalar, sıfır parçacık üreten 1–100 sınıfı temiz odalarda çalışır ve verimlilik 5.000 saatten fazla süre boyunca %5’ten az bir düşüşle stabil kalır. Sistem, 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır ve termal dengeyi koruyacak şekilde soğutma işlevi vardır.
Üretim sırasında bu durum nasıl görünür? Daha iyi kritik boyut kontrolü sağlanır ve yeniden işlenmesi gereken ürün sayısı azalır. Yumuşak ısıtma süreçleri saniyeler içinde tamamlanır ve çözücülerin uzaklaştırılması öngörülebilirdir. Sert ısıtma işlemleri ise aşırı ısınmayı önleyerek doğru bağlanma yoğunluğunu sağlar; böylece artık stresler azalır ve desenlerin bozulma riski düşer. Ayrıca enerji tüketimi de azalır, çünkü enerji doğrudan fotoresiste gitmektedir, odanın ısıtılmasına değil. Sonuç olarak tutarlı aşındırma profilleri, daha az atık ve takip edilebilir üretim planları elde edilir.
Özeliklerini belirlemeden önce dikkat edilmesi gereken birkaç nokta var. Lambaların montajı, lambanın boyutlarının ve optik bağlantının üretim bandına uygun olmasını gerektirir. Kurulum süreci kısadır, ancak hassas fotoresist katmanları için ısıtma hızlarını ve değerlerini ayarlamanız gerekir. Kızılötesi ışınının yoğunluğu mesafeyle değiştiğinden, uygun mesafenin korunması gerekir; aksi takdirde eşitlik ve tekrarlanabilirlik bozulur. Parçacık sayısını sabit tutmak için periyodik kalibrasyonlar ve temiz oda koşullarına uygun işlemler yapılmalıdır.