Wafer aletleri için sıcaklık sensörü
Neden Wafer işleme için kızılötesi ısıtma, sıcak hava ısıtmasından daha iyidir?
Eğer derin işlem süreçlerinizde sıcak hava ısıtmasından kızılötesi...
Yüksek hassasiyetli ısıtıcı
300 mm’lik hatlarda termal bütçe sadece bir öneri değildir; aşılması mümkün olmayan bir sınırdır. Yarı derece kadar bir sapma olursa, bunu fotorezist...