На поверхні для літографії поліімідний фотопрезист не може витримувати такий рівень теплового контролю, який можливий при використанні звичайних ламп. Навіть незначне збільшення температури на півградуса призводить до зміни товщини фотопрезисту, а надмірно висока температура залишає сліди після процедури етчингу. Вам потрібна температура, яку можна точно контролювати – швидке нагрівання, висока точність повторюваності, а також обладнання, яке буде функціонувати у чистій кімнаті без утворення частинок.
Ось що є важливим у цьому процесі. Наші інфрачервоні лампи для нагрівання полііміду використовують короткочастотні випромінювачі, налаштовані на поглинання світла поліімідом. Це дозволяє досягти швидкого нагрівання без контакту, з мінімальною тепловою інерцією. Рівномірність температури на рівні пластини становить ±0,1°C, а точність повторюваності – ±0,2°C. Ці лампи працюють у чистих кімнатах класу 1–100 без утворення частинок, що підтверджується безпосередніми вимірюваннями. Робоча потужність залишається стабільною протягом 5 000+ годин, з допуском менше 5%, а система розроблена для цілодобової роботи з контрольованим охолодженням, що дозволяє зберегти тепловий баланс.
Як це виглядає під час роботи лінії? Ви отримуєте кращий контроль над критичними параметрами, а кількість продукції, яку потрібно переробляти, зменшується. Процес нагрівання завершується за кілька секунд, а процес видалення розчинника є передбачуваним. Під час процедури жорсткого нагрівання досягається правильна щільність крісталізації, що дозволяє зменшити ризик руйнування структури полііміду. Крім того, споживання енергії зменшується, оскільки енергія йде безпосередньо на нагрівання фотопрезисту, а не на нагрівання самої камери. У результаті отримуються стабільні профілі етчингу, менше відходів, а також можливість дотримуватися запланованих термінів.
Кілька практичних порад перед тим, як вибирати обладнання: необхідно забезпечити відповідність розмірів лампи та її оптичного з’єднання з вашою системою нанесення/нагрівання. Налаштування обладнання займає мало часу, але потрібно враховувати особливості вашого фотопрезисту. Оскільки інтенсивність інфрачервоного випромінювання зменшується з відстанню, необхідно дотримуватися певних технологічних параметрів – інакше рівномірність та точність повторюваності будуть порушуватися. Також необхідно періодично калібрувати випромінювачі та дотримуватися правил експлуатації в чистій кімнаті, щоб уникнути утворення частинок.