Trong quy trình in ấn bằng phương pháp litografie, sự thay đổi nhiệt độ 2°C trong quá trình sấy hoặc nung phim chống ánh sáng không chỉ là một sự biến đổi nhỏ; đó còn là nguyên nhân gây ra các khuyết tật trên chip. Các bước sấy và nung wafer cần tuân thủ các ngưỡng nhiệt độ được quy định trong quy trình sản xuất, chứ không phải các ngưỡng nhiệt độ được đề ra trong các quy định bảo trì. Chúng tôi thiết kế các bóng đèn dùng để sấy wafer sao cho vừa có chi phí thấp, vừa đảm bảo độ chính xác cao.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Bóng đèn này sử dụng nguyên lý phát sóng hồng ngoại từ nguyên tố halogen trong vỏ thạch anh, giúp tạo ra tín hiệu hồng ngoại ổn định và nhanh chóng, phù hợp cho việc sấy wafer hoặc nung sau khi phủ lớp phim chống ánh sáng. Độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer duy trì ở mức ±0,1°C, giúp các kích thước quan trọng của wafer vẫn nằm trong giới hạn cho phép. Lượng hạt sinh ra gần như bằng không, giúp duy trì môi trường sạch trong phòng kiểm soát ô nhiễm loại 1–100. Bóng đèn này hoạt động với điện áp tiêu chuẩn, có thể được lắp vào các socket thông thường, và độ ổn định công suất vẫn được duy trì sau 5.000 giờ hoạt động – tức là giảm ít hơn 5%.
Tại sao bóng đèn này hiệu quả trong quy trình sản xuất: Trong quy trình sản xuất, người ta cần có tính tái lặp cao. Bóng đèn này có thể duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt 24/7, giúp các bước sấy và nung diễn ra đều đặn từ ca làm việc này sang ca làm việc khác, từ lô sản phẩm này sang lô sản phẩm khác. Điều này giúp giảm lượng sản phẩm bị hỏng và giảm thời gian sửa chữa. Ngoài ra, bóng đèn này còn giúp rút ngắn thời gian khởi động, tăng năng suất, và giảm mức tiêu thụ năng lượng. Việc thay thế bóng đèn cũng rất nhanh, giúp tránh các gián đoạn trong quy trình sản xuất. Bạn sẽ tiết kiệm chi phí mua bóng đèn, đồng thời giảm thời gian phải xử lý các sự cố liên quan đến nhiệt độ.
Một số điều cần lưu ý: Bóng đèn này được thiết kế để hoạt động trong môi trường có dòng khí khô và đã được lọc sạch, phù hợp với môi trường phòng kiểm soát ô nhiễm. Bóng đèn này không phù hợp để sử dụng trong các quy trình làm sạch ở môi trường ẩm ướt hoặc môi trường có tính ăn mòn cao. Hãy đảm bảo rằng loại socket và hình dạng của bộ phản xạ ánh sáng phù hợp với bóng đèn; nếu không, độ đồng đều của nhiệt độ có thể bị ảnh hưởng ngay tại mép wafer. Khi mọi thứ được thiết lập đúng cách, bóng đèn có thể được lắp vào các thiết bị hiện có mà không cần thay đổi nhiều, đồng thời giúp duy trì độ ổn định nhiệt độ cần thiết cho quy trình sản xuất.