Hãy ngừng việc sử dụng các bộ phận sưởi ấm để làm nóng các bức tường trong phòng sản xuất; thay vào đó, hãy sử dụng các bóng đèn sưởi bằng ánh sáng hồng ngoại có khả năng chiếu nhiệt một cách chính xác vào bề mặt wafer.
Cơ chế hoạt động của chúng Các bộ phận sưởi thông thường chỉ làm nóng không khí xung quanh; điều này gây ra nhiều vấn đề trong môi trường sản xuất linh kiện bán dẫn. Kết quả là các bức tường trong phòng sản xuất trở nên quá nóng, khiến các linh kiện quý giá bị hư hỏng. Điều này không chỉ gây nguy hiểm cho các thiết bị, mà còn ảnh hưởng đến sức khỏe của những người phải làm việc gần máy móc.
Chúng tôi đã tìm ra giải pháp tốt hơn: sử dụng các bóng đèn sưởi bằng ánh sáng hồng ngoại. Chúng phát ra bức xạ điện từ theo một hướng cụ thể. Bằng cách điều chỉnh bước sóng và sử dụng các tấm phản xạ phù hợp, chúng ta có thể giữ cho năng lượng được tập trung trực tiếp lên bề mặt wafer. Nhờ đó, nhiệt lượng không lan sang các bức tường trong phòng sản xuất.
Lợi ích của giải pháp này Với giải pháp này, vỏ máy vẫn giữ được nhiệt độ ổn định, và wafer sẽ đạt được nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng.
Những điểm cần lưu ý Các bóng đèn này hoạt động với công suất cao, vì vậy chúng rất nhạy cảm với môi trường xung quanh. Nếu các tấm phản xạ bị bẩn hoặc lệch khỏi vị trí ban đầu, điều này sẽ gây ra những điểm nóng trên bề mặt wafer. Bạn cần giữ cho các tấm phản xạ luôn sạch sẽ, nếu không bạn sẽ làm hỏng toàn bộ lô sản phẩm.
Lợi ích cho cả thiết bị và con người Việc ngăn chặn việc các bức tường bị nóng quá mức không chỉ giúp bảo vệ các thiết bị, mà còn bảo vệ sức khỏe của những người làm việc gần máy móc. Khi vỏ máy vẫn giữ được nhiệt độ ổn định, bạn không cần lo lắng về nguy cơ bị bỏng do tiếp xúc với máy móc trong quá trình bảo trì. Ngoài ra, bạn cũng tiết kiệm được điện năng khi không cần sưởi ấm không khí và vỏ máy nữa.
Bạn đang sử dụng năng lượng một cách hiệu quả nhất: trực tiếp lên bề mặt wafer.