在生产车间，300mm晶圆上装满了成千上万的芯片，热预算至关重要。在光刻胶软烘烤或快速退火过程中，温度漂移2°C可能会将缺陷烘烤进图案中，导致CD均匀性不达标，并毁掉大量良品。我们依赖快速热处理（RTP）灯系统来防止这种情况的发生，确保晶圆级的温度控制可重复。 实际重要的部分 我们在闭环测温系统中...

介绍 我们生产用于车间和工业厂房的红外线空间加热器。原理很简单：在需要的地方立即提供热量，无需浪费能量加热空气。 但关键是——红外线性能依赖于表面清洁。当灰尘覆盖在外部石英管上，就像给热量披上一层毯子。加热元件必须更努力工作，才能保持输出稳定。 功率、电压和几何尺寸——保持实际 红外加热器的选型主...