Wenn man mit einem Reinraum der Klasse 100 zu tun hat, ist die Beheizung ein echtes Problem. Es geht nicht nur darum, die Gegenstände zu erwärmen – sondern auch darum, die Luft sauber zu halten. Die meisten herkömmlichen Heizgeräte sind in solchen Fällen nutzlos: Sie geben winzige Partikel ab oder lassen Chemikalien entweichen, die ganze Chargen an Pharmazeutika zerstören können oder Ihre Wafers sofort beschädigen.
Deshalb verwenden wir Infrarotlampen aus hochreinem synthetischem Quarz. Sie sind speziell für diese schwierigen Spül- und Trocknungsphasen entwickelt worden – in denen man es sich einfach nicht leisten kann, dass auch nur ein Staubkorn entweicht.
Sauberkeit gewährleisten
Wir verwenden gefertigten Siliziumdioxid für den Lampenkörper. Warum? Weil dieses Material keine metallischen Verunreinigungen freisetzt. Herkömmliches Glas neigt dazu, beim schnellen An- und Abwärmen Risse zu bekommen – doch dieses Quarzmaterial hält dem stand. Zudem verzichten wir auf Klebstoffe und poröse Dichtungen. Solche Materialien sind im Grunde genommen „Staubmagnete“. Alles wird fest verschlossen, damit nichts in den Luftstrom gelangt. So einfach ist das.
Umgang mit Feuchtigkeit
Die Spülvorgänge sind unappetitlich – überall gibt es Feuchtigkeit und chemische Dämpfe. Um zu verhindern, dass diese Ihre Ausrüstung zerstören, verwenden wir spezielle dichte Dichtungen an den Leitungen. Dadurch kann keine Feuchtigkeit in die Glühkeramik eindringen. Ohne diese Dichtungen würden die Lampen viel zu schnell ausfallen. Mit ihnen können Sie die Lampen direkt in den feuchten Bereichen installieren, ohne befürchten zu müssen, dass ein Kurzschluss alles zerstört.
Der Kompromiss bezüglich der Hitze
Diese Lampen nutzen direkte Strahlungswärme. Das ist sehr effektiv – wirklich sehr schnell. Da das Substrat direkt erhitzt wird, anstatt Zeit mit der Erwärmung der Luft zu verschwenden, verkürzt sich die Aufwärmzeit erheblich. Doch es gibt einen Haken: Die hohe Intensität der Infrarotstrahlen erzeugt viel Wärme an den Enden der Lampen. Sie müssen sicherstellen, dass der Lampenkörper gut belüftet oder wassergekühlt wird. Wenn die Befestigungssysteme nicht dafür geeignet sind, kann das Gehäuse verbogen werden.
Installation
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie direkt als Ersatz für Ihre aktuellen Reinraumlampen verwendet werden können. Sie haben eine kleine Abmessung, und die Verkabelung ist einfach. Zudem brauchen Sie keine gezielte Luftzirkulation – dadurch entfallen alle störenden Turbulenzen. Die Partikelzahl bleibt stabil, und Ihre Komponenten werden genau dann trocken, wenn es nötig ist.