در فرآیند لیتوگرافی، اختلاف نیم درجهای در دما در حین فرآیندهای حرارتی، مشکلاتی را ایجاد میکند؛ این اختلافات در قالب تغییرات در ضخامت لایههای فوتورزیست، کاهش چسبندگی لایهها و کاهش بازدهی پس از فرآیند اچینگ مشهود میشوند. ما لامپهای مورد استفاده برای حرارت دادن فوتورزیست را به گونهای طراحی کردهایم که این تغییرات را کاهش دهند؛ در نتیجه، فرآیند در تمام مراحل، به خوبی انجام میشود.
چه چیزهایی در این فرآیند اهمیت دارد؟ ما از منابع نوری نور مرئی با کنترل طیفی دقیق استفاده میکنیم تا فوتورزیست را مستقیماً گرم کنیم؛ این کار باعث کاهش تأخیر در گرم شدن سطح فوتورزیست و در نتیجه، پاسخ حرارتی سریعتر و بهتری میشود. در کل منطقه حرارتی، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، تکرارپذیری این فرآیند در هزاران بار انجام، در همان محدوده باقی میماند. این دستگاه برای استفاده در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، ما اطمینان حاصل میکنیم که هیچ ذرهای در نقاط تماس ایجاد نشود. این دستگاه برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است؛ دستگاههای موجود میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه عملکردشان تحت تأثیر قرار بگیرد.
چرا این موضوع در فرآیند فوتورزیست اهمیت دارد؟ فرآیند حرارت دادن نرم، به منظور تثبیت چسبندگی لایهها و خارج کردن مواد حلکننده از لایهها انجام میشود؛ فرآیند حرارت دادن سخت نیز به منظور ثابت نگه داشتن ساختار لایهها قبل از فرآیند اچینگ انجام میشود. با استفاده از این لامپ، میتوانیم پروفایلهای حرارتی یکنواختی در کل محموله فوتورزیست داشته باشیم؛ در نتیجه، نقصها و نیاز به بازکاری کاهش مییابد. این امر منجر به کنترل بهتر کیفیت لایهها و رفتار قابل پیشبینی لایهها در طول فرآیند اچینگ میشود. تثبیت دما نیز سریع اتفاق میافتد و از اتلاف انرژی جلوگیری میشود. عمر طولانی لامپ نیز به معنای کاهش نیاز به قطعات یدکی و زمان تعمیرات است.
جزئیات عملیاتی: این لامپها را میتوان در سیستمهای استاندارد پوششدهی و حرارتدهی استفاده کرد؛ اما باید در هنگام نصب، هماهنگی آنها با مسیر حرکت ویفرها و هندسه محفظه حرارتی را بررسی کرد. برای تنظیم زمان حرارتدهی، شدت نور و دمای مورد نیاز، نیاز به یک آزمایش کوتاه وجود دارد. باید از محدوده ولتاژ مشخص شده استفاده کرد؛ در غیر این صورت، یکنواختی دما و عمر لامپ به سرعت کاهش خواهد یافت.