על הרצפה, כאשר החימום של RTP מתחיל להשתנות, החומרים שנמצאים בתהליך עדיין נעים. חימום חלש מדי או חזק מדי פוגע באיכות החומרים. חימום חזק מדי יוצר בעיות בשליטה בטמפרטורה. התוצאה היא חומרים לא תקינים, צורך בעבודה נוספת, ובזבוז של אנרגיה שלא ניתן להחזיר.
מה באמת חשוב? אנו יוצרים את מערכת החימום של RTP כך שהטמפרטורה תהיה אחידה ברמת הוואפר, בטווח של ±0.1°C, לאורך כל תהליך העבודה. נורות ההלוגן מאפשרות שליטה מדויקת בטמפרטורה, כך שהחומרים נשארים בתנאים הנכונים. החומרים המשמשים לבניית המערכת מונעים עלייה ברמת החלקיקים בחדרים נקיים מסוג Class 1–100. הבידוד מפרופיל פחמן מפחית את צריכת האנרגיה, מבלי להוסיף מסה תרמית. המערכת יכולה להתחבר לתאי העבודה ולמערכות הבקרה באמצעות חיבורים סטנדרטיים, כך שהטמפרטורה תהיה תחת שליטה.
זו הסיבה שהמערכת עובדת טוב בתהליכי ליתוגרפיה וחריטה: הטמפרטורה היא פרמטר חשוב שלא ניתן למדוד לאחר מעשה. עם מערכת זו, הטמפרטורה נשארת קבועה, האחידות של החומרים משתפרת, והלחץ על החומרים נשאר בגבולות המותרים. החזרתיות של התהליך מקצרת את זמן ההכנה ומאפשרת שליטה טובה יותר בתהליך. המערכת יכולה לעבוד 24/7 ללא הפסקות, וחיי הנורות הם למעלה מ-5,000 שעות – מה שמצמצם את הצורך בחלקי חילוף ואת זמן התחזוקה.
ההתקנה כוללת התאמת גאומטריית תא העבודה ווידוא שהנורות ממוקמות כראוי. אפילו סטייה קטנה יכולה לגרום לבעיות. יש לבצע ניסויים קצרים כדי לוודא שהטמפרטורה נשארת קבועה. יש לצפות לעומס קירור גדול יותר – שמירה על טמפרטורה של ±0.1°C דורשת שיתוף פעולה הדוק עם מערכות הקירור. אנו מספקים שרטוטים ונתוני מיפוי תרמי כדי שההתקנה תתבצע בצורה חלקה.