लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को सुखाने के दौरान 2°C का अंतर केवल एक छोटा सा अंतर ही नहीं है; बल्कि यह चिप में दोष उत्पन्न होने का कारण भी बन सकता है। वेफर को सुखाने एवं उसे गर्म करने की प्रक्रियाओं में प्रक्रिया के तापीय मापदंडों का ही पालन किया जाना आवश्यक है, न कि रखरखाव संबंधी मापदंडों का। हमने अपने वेफर सुखाने वाले लैंपों को इसी आवश्यकता के अनुरूप डिज़ाइन किया है – कम लागत, लेकिन उच्च सटीकता।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
यह लैंप, क्वार्ट्ज आवरण के अंदर शॉर्ट-वेव हैलोजन तत्वों का उपयोग करता है; इससे स्पिन-ड्राय एवं पोस्ट-एप्लाई बेक प्रक्रियाओं में त्वरित एवं स्थिर आईआर प्रतिक्रिया प्राप्त होती है। वेफर पर तापीय एकरूपता ±0.1°C के भीतर बनी रहती है, इसलिए महत्वपूर्ण आयाम निर्धारित मानों के अनुरूप ही रहते हैं। कणों का निर्माण लगभग शून्य ही होता है; इससे क्लीनरूम का स्तर 1–100 के बीच ही बना रहता है। यह लैंप मानक वोल्टेज पर ही काम करता है, सामान्य टूल सॉकेटों में ही इस्तेमाल किया जा सकता है, एवं 5,000 घंटों तक भी इसका आउटपुट स्थिर ही रहता है – 5% से भी कम गिरावट होती है।
उत्पादन में इसका उपयोग क्यों उपयोगी है?
उत्पादन में, ऐसी प्रक्रियाओं की आवश्यकता होती है जिनमें निरंतरता बनी रहे। यह लैंप 24/7 कार्य चक्रों में भी तापमान को नियंत्रित रखता है; इससे हर शिफ्ट में, हर बैच में एक ही तरह की प्रक्रियाएँ होती हैं। ऐसी निरंतरता से अपशिष्ट एवं पुनः कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। इससे वेफर को गर्म होने में लगने वाला समय भी कम हो जाता है, उत्पादन दक्षता बढ़ जाती है, एवं ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। इसका रिप्लेसमेंट भी जल्दी ही हो जाता है; इससे अप्रत्याशित रुकावटें नहीं होतीं। इसकी कीमत भी कम होती है, एवं तापमान संबंधी समस्याओं से निपटने में भी कम समय लगता है।
कुछ महत्वपूर्ण बातें
यह लैंप, सूखी एवं फिल्टर्ड हवा के वातावरण में ही काम करता है, एवं क्लीनरूम में ही इस्तेमाल किया जा सकता है। यह गीली सफाई प्रक्रियाओं या अम्लीय वातावरणों के लिए उपयुक्त नहीं है। सॉकेट एवं रिफ्लेक्टर की संरचना को भी उचित रखना आवश्यक है; अन्यथा वेफर के किनारों पर तापीय एकरूपता बिगड़ सकती है। जब सब कुछ ठीक रहता है, तो यह लैंप मौजूदा उपकरणों में ही आसानी से इस्तेमाल किया जा सकता है, एवं प्रक्रिया के लिए आवश्यक तापीय नियंत्रण भी प्रदान करता है।