जब फर्श पर स्थित RTP हीटर काम करना बंद कर देता है, तो पूरी प्रक्रिया में विचलन हो जाता है। यदि गर्मी की मात्रा थोड़ी भी कम या ज्यादा हो जाए, तो फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता प्रभावित हो जाती है। अत्यधिक गर्मी या ठंडक के कारण सीडी नियंत्रण में कठिनाई हो जाती है। इसके परिणामस्वरूप अपशिष्ट उत्पन्न होता है, पुनर्कार्य की आवश्यकता पड़ती है, और ऊर्जा खर्च भी बढ़ जाता है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने RTP हीटर को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि पूरी प्रक्रिया के दौरान तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे। हैलोजन लैंपों के कारण तापमान नियंत्रण में आसानी होती है, जिससे फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता बनी रहती है। क्वार्ट्ज सामग्री एवं कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों के कारण क्लास 1–100 के स्वच्छ कमरों में कणों की संख्या स्थिर रहती है। कार्बन फाइबर इन्सुलेशन के कारण ऊर्जा खर्च कम हो जाता है। यह हीटर मानकीकृत कनेक्टरों के माध्यम से मौजूदा चैंबरों एवं कंट्रोलरों से जुड़ जाता है; इसलिए तापमान नियंत्रण सही तरीके से ही होता है।
यही कारण है कि यह हीटर लिथोग्राफी एवं एचचिंग प्रक्रियाओं में कारगर साबित होता है। तापमान ऐसा पैरामीटर है जिसे बाद में मापा ही नहीं जा सकता। इस हीटर के कारण तापमान नियंत्रण में आसानी होती है, जिससे फिल्म का तनाव भी नियंत्रण में रहता है। विभिन्न बैचों में गुणवत्ता समान रहती है, जिससे प्रक्रिया तेज़ हो जाती है। यह सिस्टम 24/7 काम करता है, और लैंपों की आयु 5,000+ घंटों तक रहती है; इससे रखरखाव की आवश्यकता कम हो जाती है।
स्थापना की प्रक्रिया
स्थापना के लिए चैंबर की ज्यामिति को ध्यान में रखना आवश्यक है, एवं लैंपों की स्थिति को वेफर के समतल सतह पर ही रखना है। थोड़ा सा भी विचलन होने पर तापमान नियंत्रण में कठिनाई हो जाती है। फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता बनाए रखने हेतु तापमान नियंत्रण को फिर से समायोजित करना आवश्यक है। इसके लिए थोड़ा अतिरिक्त शीतलन आवश्यक है… ±0.1°C का नियंत्रण बनाए रखने हेतु कूलरों का उपयोग आवश्यक है। हम इंटरफेस ड्रॉइंग एवं थर्मल मैपिंग डेटा भी प्रदान करते हैं, ताकि स्थापना सही तरीके से हो सके।