पॉलीइमाइड बेकिंग इन्फ्रारेड लैंप
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, पॉलीइमाइड फोटोरेजिस्ट, सामान्य लैंपों के उपयोग से प्राप्त होने वाले तापीय नियंत्रण को सहन नहीं कर पाता। यदि तापमान में आधा...
फोटोरेजिस्ट सॉफ्ट बेक लैंप
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” को सिर्फ एक वॉर्म-अप प्रक्रिया के रूप में नहीं मानना चाहिए। यह वास्तव में ऐसा तापीय चरण है, जिसके द्वारा...