लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” को सिर्फ एक वॉर्म-अप प्रक्रिया के रूप में नहीं मानना चाहिए। यह वास्तव में ऐसा तापीय चरण है, जिसके द्वारा विलायकों की मात्रा नियंत्रित की जाती है, एवं फोटोरेजिस्ट का चिपकना सुनिश्चित किया जाता है। यदि वेफर पर 1°C का अंतर हो जाए, या लैम्प से निकलने वाली ऊष्मा में असमानता हो जाए, तो महत्वपूर्ण आयामी नियंत्रण खो जाता है। लाइन-विड्थ में असमानताएँ बढ़ जाती हैं, एवं दोष भी पैदा हो जाते हैं।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया हेतु NIR लैम्पों का उपयोग करते हैं; क्योंकि ये तापीय क्षेत्र में सब-मिलीमीटर स्तर पर एकरूपता प्रदान करते हैं। क्वार्ट्ज-हैलोजन एमिटरों एवं रिफ्लेक्टरों की संरचना ऐसी है कि तापीय प्रोफ़ाइल वेफर के अनुसार ही बनता है, न कि हीटर के अनुसार। बेकिंग प्रक्रिया के दौरान, वेफर पर ±0.1°C की स्तर पर एकरूपता बनाए रखी जा सकती है; एवं लैम्प का आउटपुट स्थिर होने के कारण प्रत्येक बैच में उत्पादन की गुणवत्ता समान रहती है।
क्लीनरूम के संदर्भ में…
क्लास 1–100 वाले वातावरण में, लैम्प से कोई कण नहीं निकलता; एवं इस उपकरण की रचना ऐसी है कि इसके संचालन के दौरान कोई कण भी न बने।
यहाँ यह प्रक्रिया क्यों कारगर है?
उच्च मात्रा में उत्पादन हेतु, “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया बहुत ही महत्वपूर्ण है। NIR लैम्पों के कारण वेफर जल्दी ही वांछित तापमान तक पहुँच जाता है; इससे साइकल समय कम हो जाता है, एवं तापीय बजट भी बच जाता है। फोटोरेजिस्ट की मोटाई एवं इसके किनारों पर होने वाले परिवर्तनों पर भी नियंत्रण रखा जा सकता है; इससे अपशिष्ट उत्पादन में कमी आती है।
ऊर्जा उपयोग…
चूँकि लैम्प सीधे वेफर को ही गर्म करता है, इसलिए ऊर्जा की खपत कम होती है। इसके कारण उपकरण लंबे समय तक काम कर सकता है – 5,000 घंटे से अधिक समय तक, एवं आउटपुट में 5% से कम की कमी होती है; इसलिए अप्रत्याशित बंदी की समस्या नहीं होती।
ध्यान देने योग्य बातें…
NIR “सॉफ्ट बेक” लैम्पों को सही तरीके से स्थापित करना आवश्यक है। आउटपुट की एकरूपता एमिटर एवं वेफर के बीच की दूरी, एवं रिफ्लेक्टरों की स्थिति पर निर्भर है; इसलिए किसी भी परिवर्तन के लिए उपकरण की यांत्रिक संरचना एवं शीतलन प्रणाली को ध्यान में रखना आवश्यक है।
ये लैम्प मानक इंटरफेसों के साथ काम करते हैं; लेकिन यदि बेकिंग प्लेट या वेफर का आकार बदल जाए, तो तापीय प्रोफ़ाइल भी बदल जाता है। इसलिए एमिटर की आयु को ध्यान में रखकर ही आवश्यक उपकरणों की व्यवस्था करनी चाहिए।