लिथोग्राफी प्रक्रिया में, पॉलीइमाइड फोटोरेजिस्ट, सामान्य लैंपों के उपयोग से प्राप्त होने वाले तापीय नियंत्रण को सहन नहीं कर पाता। यदि तापमान में आधा डिग्री भी अंतर हो जाए, तो फोटोरेजिस्ट की मोटाई में भी बदलाव हो जाता है; जबकि अत्यधिक तापमान के कारण एचेचिंग के बाद अवशेष बच जाते हैं। इसलिए ऐसी ऊष्मा की आवश्यकता है जिस पर भरोसा किया जा सके – तेज तापमान वृद्धि, उच्च स्तर की पुनरावृत्ति, एवं ऐसा हार्डवेयर जो क्लीनरूम में भी बिना किसी कण उत्पन्न किए काम कर सके।
हमारे पॉलीइमाइड उत्पादन हेतु उपयोग में आने वाले इन्फ्रारेड लैंप, पॉलीइमाइड द्वारा अवशोषित की जाने वाली छोटी तरंगदैर्घ्य वाली रोशनी का उपयोग करते हैं। इससे त्वरित एवं बिना संपर्क के ही तापन होता है, एवं तापीय अस्थिरता भी कम रहती है। वेफरों पर तापमान स्थिर रहता है – ±0.1°C के भीतर, एवं एक वेफर से दूसरे वेफर पर तापमान में अंतर भी ±0.2°C के भीतर ही रहता है। ये लैंप क्लास 1–100 क्लीनरूमों में ही काम करते हैं, एवं इनसे कोई कण भी उत्पन्न नहीं होता। 5,000 घंटों से अधिक समय तक भी आउटपुट स्थिर रहता है, एवं सिस्टम 24/7 काम करने हेतु डिज़ाइन किया गया है।
जब सिस्टम काम कर रहा होता है, तो इससे आवश्यक आयामों पर बेहतर नियंत्रण होता है, एवं पुनः कार्य करने वाले उत्पादों की संख्या भी कम हो जाती है। “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया कुछ ही सेकंडों में पूरी हो जाती है, एवं विलायकों को हटाने की प्रक्रिया भी अनुमानित ही होती है। “हार्ड बेक” प्रक्रिया से उचित स्तर पर ही क्रॉसलिंकिंग होती है, इसलिए अवशिष्ट तनाव कम रहता है, एवं पैटर्न में कोई विकृति नहीं होती। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि ऊर्जा सीधे फोटोरेजिस्ट में ही जाती है, न कि चेम्बर को गर्म करने में। परिणामस्वरूप एचेचिंग प्रक्रिया सुसंगत रहती है, अपशिष्ट कम हो जाता है, एवं निर्धारित समय-सारणी का पालन भी संभव हो जाता है।
इसे खरीदने से पहले कुछ व्यावहारिक बातें ध्यान में रखें। लैंपों की स्थापना हेतु उनके आकार एवं ऑप्टिकल कपलिंग को उत्पादन प्रक्रिया के अनुरूप ही रखना आवश्यक है। सिस्टम को सक्रिय करने में समय कम लगता है, लेकिन फोटोरेजिस्ट की विशेषताओं के अनुरूप ही तापमान वृद्धि की दर को समायोजित करना आवश्यक है। चूँकि NIR तीव्रता दूरी के साथ बदलती रहती है, इसलिए दूरी को निर्धारित सीमा में ही रखना आवश्यक है – अन्यथा एकरूपता एवं पुनरावृत्ति में बदलाव हो जाता है। नियमित रूप से लैंपों का कैलिब्रेशन करना, एवं कणों की संख्या को नियंत्रित रखना भी आवश्यक है।