もう、機械全体を加熱するのはやめて、部品だけを加熱しましょう。
ほとんどの赤外線ランプは、熱をあちこちに放散してしまいます。360度全方位に熱が放出されるため、狭い半導体製造装置の中で作業を行う際には大変です。熱は加工対象物ではなく、装置の内壁に当たってしまいます。その結果、熱が集中して、電子機器が破損したり、最悪の場合、装置を操作している人が火傷を負ったりします。
私たちは、より良い方法を考え出しました。短波長の赤外線ランプと高純度の金製反射板を組み合わせるのです。
なぜ金か？
それは、赤外線を効果的に反射できるからです。アルミニウムは一般的ですが、時間が経つと酸化して効果が低下します。一方、金はそういうことがありません。金は、後方から来る熱をすべて前方に向けて反射します。
これにより、全体を温めるのではなく、必要な場所だけを正確に加熱できます。装置の筐体も、必要のないエネルギーを吸収しないため、冷たいままです。
ただし、設置には注意が必要です。ビームを集中させるため、対象点での熱量は非常に高くなります。エネルギーを増やしているわけではなく、単に焦点を絞っているだけです。もし使用している材料の融点が低い場合は、距離をしっかり調整しましょう。部品が焼けてしまうことがないようにしてください。
私たちは、高速化のためにこれを開発しました。短波長の光はほぼ瞬時に対象点に到達するため、短い処理時間が実現できます。ただし、高い出力密度のため、配線には十分注意が必要です。ソケットの定格電流に合ったものを使用しないと、端子が焼けてしまいます。
最良な点は、工具の表面が触っても冷たいままだということです。つまり、分厚い断熱材や大きくて騒音の多い冷却ファンは不要です。空間も節約でき、工場もより安全になります。
最後に、反射板を清潔に保つことが重要です。たとえわずかな汚れでも、ビームが散乱して精度が悪くなります。常に反射板を輝かせておけば、問題なく機能します。