클래스 100급 청정실에서는 난방이 상당히 어려운 문제입니다. 단순히 공기를 따뜻하게 하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 공기가 완전히 깨끗해야 합니다. 일반적인 히터들은 이런 상황에서는 전혀 쓸모가 없습니다. 그러한 히터들은 미세한 입자들을 방출하거나 화학물질을 유출시켜서 제약품 전체를 망칠 수도 있고, 웨이퍼를 순식간에 파괴할 수도 있습니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 적외선 램프를 사용합니다. 이 램프들은 먼지 한 점도 허용되지 않는 까다로운 세척 및 건조 공정에 특별히 설계된 것입니다.
깨끗하게 유지하기 램프의 외장재로는 융합 실리카를 사용합니다. 왜냐하면 금속 불순물이 유출되지 않기 때문입니다. 일반 유리는 온도가 급격히 변할 때 균열이 생기거나 부서지기 쉽지만, 석영은 그런 문제가 없습니다. 또한 접착제나 다공성 밀폐 재료도 사용하지 않습니다. 그런 재료들은 사실상 먼지를 끌어들이는 역할을 합니다. 모든 것을 단단히 밀봉하여 공기 중으로 아무것도 새어 나가지 않도록 합니다. 그게 전부입니다.
습한 환경에서의 사용 세척 과정에서는 습기와 화학물질의 증기가 사방으로 퍼집니다. 이러한 것들이 장비를 손상시키는 것을 막기 위해, 우리는 연결선에 특수한 밀폐 장치를 부착합니다. 이렇게 하면 습기가 필라멘트 챔버로 들어가는 것을 막을 수 있습니다. 이러한 밀폐 장치가 없다면 램프는 너무 빨리 고장날 것입니다. 하지만 이 장치가 있으면 습한 곳에도 램프를 설치할 수 있으며, 단락으로 인한 문제도 걱정할 필요가 없습니다.
열 관리의 문제 이 램프들은 직접적인 복사열을 사용합니다. 그래서 매우 빠르게 가열됩니다. 공기를 따뜻하게 하는 데 시간을 낭비하지 않고 바로 기판을 가열할 수 있기 때문에, 가열 시간이 크게 줄어듭니다. 하지만 단점도 있습니다. 강력한 적외선으로 인해 램프의 끝부분에서 많은 열이 발생합니다. 그래서 램프의 외관이 변형되지 않도록 환기나 수냉이 필요합니다. 만약 램프를 고정하는 브라켓이 그러한 열을 견딜 수 없다면, 램프의 구조가 변형될 수 있습니다.
설치 방법 이 램프들은 기존의 청정실 장비들을 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 크기가 작아서 설치가 간편합니다. 게다가 강제 대류가 필요 없기 때문에, 귀찮은 난기류도 없습니다. 그래서 입자 수도 안정적으로 유지되고, 부품들도 정확한 시간에 건조됩니다.