Op de lithografieafdeling kan polyimide-fotoresist geen gebruik maken van de soort thermische controle die wordt bereikt met gewone lampen. Een zachte verhitting die zelfs maar een halve graad verschilt, zorgt ervoor dat de dikte van de fotoresist verandert. Een harde verhitting die te sterk is, leidt tot restanten na het eten van de fotoresist. Wat nodig is, is een constante hittebron – met een snelle opwarming en een hoge herhaalbaarheid. De apparatuur moet ook goed functioneren in een schone ruimte, zonder dat er deeltjes worden gegenereerd.
Onze infraroodlampen voor het verhitten van polyimide maken gebruik van korte golflengten die perfect aansluiten bij de absorptie van polyimide. Hierdoor wordt er snel en zonder contact verwarming gegenereerd, met een lage thermische inertie. De uniformiteit van de temperatuur op het wafeloppervlak blijft binnen ±0,1°C, en de herhaalbaarheid tussen verschillende behandelingen blijft binnen ±0,2°C. Deze lampen werken in schone ruimtes van klasse 1–100, zonder dat er deeltjes worden gegenereerd. De uitgangsspanning blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling. Het systeem is ontworpen voor 24/7 gebruik, met een gecontroleerde afkoeling die de thermische balans behoudt.
Hoe ziet dit eruit wanneer de lijn in werking is? Er is betere controle over de kritieke dimensies, waardoor minder producten moeten worden herwerkt. Zachte verhittingscycli duren slechts seconden, en het verwijderen van oplossingen verloopt voorspelbaar. Harde verhitting zorgt voor de juiste concentratie van kruislinkingen, zonder dat er te veel verhitting optreedt. Hierdoor blijven de residuele spanningen laag, waardoor het risico op het instorten van het patroon wordt verminderd. Ook de energieverbruik neemt af, omdat de energie rechtstreeks naar de fotoresist gaat, in plaats van gebruikt te worden om de kamer op te warmen. Het resultaat zijn consistentie in de etapprofielen, minder afval en schema’s die echt kunnen worden nageleefd.
Een paar praktische tips voordat je de apparatuur bestelt: de lampen moeten goed passen in de behuizing en de optische verbindingen moeten goed werken. De inrichting van de apparatuur duurt niet lang, maar je moet wel de snelheid van de opwarming aanpassen aan de specifieke behoeften van de fotoresistlaag. Omdat de intensiteit van het NIR-licht afneemt naarmate de afstand toeneemt, moet de afstand tussen de lampen nauwkeurig worden gecontroleerd. Plan ook regelmatige kalibraties van de lampen en zorg ervoor dat de apparatuur in een schone ruimte wordt gehouden, zodat er geen deeltjes worden gegenereerd.