На этапе литографии не следует рассматривать процедуру мягкой обработки как простую разминку перед основной обработкой. Это важный термический этап, который позволяет зафиксировать содержание растворителя в фотополимере и обеспечить надежное прилипание фотополимера к поверхности кристалла. Даже небольшое изменение температуры на 1°C или наличие „холодных точек“ в области освещения может привести к снижению точности контроля размеров кристалла. Также увеличивается шероховатость линий на поверхности кристалла, что приводит к появлению дефектов.
Что имеет техническое значение Мы используем лампы НИР для мягкой обработки, потому что они обеспечивают высокую однородность температурного поля на уровне субмиллиметров. Геометрия кварцево-галогенового излучателя и конструкция отражателей такие, что температурный профиль соответствует форме кристалла, а не форме нагревателя. Таким образом можно сохранять однородность температуры на уровне ±0,1°C, а также обеспечивать высокую воспроизводимость результатов при производстве разных партий продукции. Это достигается благодаря стабильной мощности лампы и возможности воспроизведения температурного профиля.
Совместимость с чистыми помещениями также является важным фактором. В условиях классов чистоты 1–100 от лампы не будет исходить никаких частиц, а само устройство спроектировано так, чтобы во время работы не образовывалось никаких частиц.
Почему это работает На производствах с высоким объемом производства воспроизводимость процедуры мягкой обработки является ключевым фактором для обеспечения высокой производительности. Благодаря использованию ламп НИР кристалл быстро достигает нужной температуры, что сокращает время цикла без ущерба для температурного профиля. Контроль толщины фотополимера и его поведения по краям становится более предсказуемым, что позволяет улучшить качество процесса и снизить количество брака.
Энергопотребление снижается, поскольку лампа нагревает сам кристалл, а не воздух вокруг него. Надежность устройства проявляется в длительном времени его работы: устройства могут работать более 5 000 часов с падением производительности менее чем на 5%, что позволяет избежать неплановых простоев.
Что нужно знать Лампы НИР требуют точного монтажа и настройки. Однородность излучения зависит от расстояния между излучателем и кристаллом, а также от состояния отражателей. Поэтому любые модификации должны соответствовать механической конструкции устройства и системе охлаждения. Лампы работают с стандартными интерфейсами, но при изменении размеров платы или кристалла необходимо перенастраивать температурный профиль. Также необходимо учитывать срок службы излучателя, чтобы обеспечить непрерывную работу производства.